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자성유체씰

자성유체씰(Ferro fluid seal)은 Stationary Pole과 Rotating Shaft
사이의 간극(Radial gap)에 주입된 자성유체(Ferro fluid)가
자기장(Magnetic Flux)의 작용에 의해
일종의 "液狀"형태의 오링 (LIQUID O-RING)을 형성함으로써
완벽한 밀봉(Hermetic sealing)이 가능한 회전용씰 로써 씰과 회전축
간의 마찰이 없는 비접촉식씰 (Non-contact seal)이다.
주로 반도체, LCD, OLED, 태양광 산업 관련 진공장비의 구동에 필요한
동력을전달하는데 사용된다.

동일 키워드 : 마그네틱씰, Ferro fluidic Seal, Magnetic fluid Seal,
Ferro fluids Feedthrough, Ferrofluidic Vacuum Rotary Feedthrough,
Magnetic Seal, Vacuum Feedthroughs

적용분야 MARKETS & APPLICATIONS :

자성유체씰은 주로 반도체, LCD, OLED, 태양광 산업 관련 진공장비의 구동에 필요한 동력을 전달하기 위해 사용된다.
(Semiconductor process equipment) Vacuum wafer carrier, Ion Implanter, Epitaxial growing system, CVD, Sputter
coating system, Etching system,교반장치(Stirrer), Robot Vacuum system, LCD process equipment, X선발생장치
(Rotating anode X-ray generator)